项目编号：Dlmu-FS-20240396
项目名称：氧化镓外延片采购
公示时间：2024年07月30日- 2024年08月02日
拟成交单位 ：天津市万德思诺国际贸易有限公司
采购预算：130000
采购内容：（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片，共两片 衬底主要参数指标： 晶向：（001），厚度：620±20 微米，衬底电阻0.007~0.042Ωcm 外延层主要参数指标： 导电类型：n type，浓度1e16±0.5e16cm-3，厚度10±4 微米 需原厂切割：一片切割成10×10mm，一片切割成8×8mm。 主要技术指标如下：氧化镓片 描述 | 参数值 | 单位 | 衬底层参数 | 衬底厚度 | 620±20 | μm | 电阻率 | 0.007~0.042 | Ω・cm | 半峰全宽 | 100轴 ≦350 | arcsec | 010轴 ≦350 | arcsec | 衬底晶向 | 001 | / | 正面抛光 | CMP | / | 背面抛光 | Grinding | / | 掺杂 | Sn | / | 外延层参数 | 载流子浓度 | 1±0.5E16 | / | 外延厚度 | 10±4 | μm | 掺杂 | Si＋Cl | / | 加工参数 | 精密切割 | 10×10 | mm | 精密切割 | 8×8 | mm |
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单一来源理由：本团队申请购买（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片。 现在全世界可以做正式产品只有日本NCT和美国Kyma两家，在做研发的有德国IKZ一家以及国内三家， 日本NCT公司是国际上最早从事氧化镓商业化销售的公司，也是目前国际上氧化镓品质做的最好的，此公司可提供产品（001）HVPE外延 2寸及4寸。 美国Kyma公司只能做出上述（010）衬底产品，其他的产品全都没有。 德国IKZ目前还在研究阶段，暂时还没产品推出。 国内山东大学晶体所，上海光机所、中电46所这3家研究单位主要从事氧化镓单晶材料的研究，但目前的研究进度还停留在100面。北京铭镓半导体目前可提供的产品只有100向及001向的小尺寸衬底片，外延片还在验证阶段。北京镓和半导体和杭州镓仁半导体目前只能提供小尺寸的衬底片，无外延片产品。 综上所述，国内外只有日本NCT公司能提供（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片产品，而天津市万德思诺国际贸易有限公司是其氧化镓外延片的独家代理。故拟采用校内单一来源采购方式采购。
论证小组成员：曹菲,宋延兴,包梦恬
有关单位或个人如对本项目采用校内单一来源采购方式有异议，应在公示期内以书面形式向大连海事大学招投标与采购中心反映。
联系人：崔老师
联系电话：13352209224
国有资产与实验室管理处
招投标与采购中心
2024年07月30日
